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技術(shù)編號：3358032

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本實(shí)用新型涉及一種能夠成功地將柔性帶材內(nèi)部的空氣和揮發(fā)性氣體抽出來的設(shè)備，具體涉及一種柔性帶材真空濺射預(yù)抽真空處理設(shè)備。背景技術(shù)—般的真空濺射設(shè)備由于沒有經(jīng)過預(yù)抽真空設(shè)備(或裝置)進(jìn)行預(yù)抽真空處理， 對于柔性帶材內(nèi)的空氣和揮發(fā)性氣體都不能提前抽出來。在真空濺射主體設(shè)備進(jìn)行一次性 抽真空，時(shí)間長、能耗高，且濺射到基體上的靶材微粒附著力小，成品浸潤性差，易造成后道 工序出現(xiàn)質(zhì)量問題。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為了彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種柔性帶材真空濺射預(yù)抽空...
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