技術(shù)編號：3353554
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種沉積裝置與薄膜的形成方法，且特別是有關(guān)于一種化學(xué)氣相 沉積裝置與聚對二甲苯(parylene)薄膜的形成方法。背景技術(shù)聚對二甲苯薄膜由于具有極佳的阻水性與阻氧性、高透明度、高絕緣度以及可以 抗生銹、腐蝕與風(fēng)化，因此在目前的可撓式顯示器中，大多使用聚對二甲苯薄膜來作為軟性 塑膠基板表面上的阻氣層。對于目前的制程來說，形成聚對二甲苯薄膜的方法一般為化學(xué)氣相沉積法。首先， 將粉末狀的聚對二甲苯置于蒸發(fā)室中，并加熱到150°C以使粉末狀的聚對二甲...
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