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磁盤(pán)用玻璃襯底及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3353454

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本發(fā)明涉及。更具體地,本發(fā)明涉及研磨 (polishing)圓形玻璃盤(pán)主面的方法。背景技術(shù)近來(lái),對(duì)安裝在信息處理裝置如硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器上的磁盤(pán)的高記錄密度的要求增加。 在這種狀況下,已經(jīng)廣泛使用具有優(yōu)異平坦性和襯底強(qiáng)度的玻璃襯底來(lái)代替常規(guī)的鋁襯 底。 例如,通過(guò)由玻璃板切出環(huán)形的圓玻璃板(在其中心處具有圓孔的圓形玻璃板)、 使用金剛石砂輪切削內(nèi)圓周表面和外圓周表面、其后連續(xù)實(shí)施主面磨光(lapping)和邊緣 表面鏡面研磨以及利用研磨墊對(duì)圓形玻璃板的主面進(jìn)行研磨...
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