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氣相沉積的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3350938

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本發(fā)明涉及一種以氣相沉積的方式將一種包括至少兩種元素的涂層施加到襯底上的方法。以元素的氣相形式將諸如金屬的元素沉積在襯底上以形成涂層在本領(lǐng)域是已知的。通常,被沉積的元素是鋅,以規(guī)則的形式將鋅沉積在鋼帶上。用于實(shí)現(xiàn)這種目的的常規(guī)設(shè)備通常包括在襯底表面前面的汽化容器,元素在該汽化容器中被汽化。有時(shí),通道將金屬蒸氣引向襯底表面,襯底表面在通道的開(kāi)口處經(jīng)過(guò)。通常利用真空實(shí)現(xiàn)氣化。襯底與蒸氣相比是較冷的,以使蒸氣凝華于其上以形成目標(biāo)涂層。氣態(tài)到固態(tài)的轉(zhuǎn)變被稱(chēng)為凝華,...
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