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技術(shù)編號：3319061

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本發(fā)明公開了PVD與HIPIMS制備超硬DLC涂層方法及設(shè)備，采用多層膜復(fù)合技術(shù)，利用PVD過程與HIPIMS方法，通過陰極與陽極偏壓調(diào)節(jié)和乙炔氣體流量控制，設(shè)計一種工業(yè)化的制備類金剛石涂層設(shè)備，實(shí)現(xiàn)工件表面的超硬度類金剛石涂層設(shè)備，并使涂層具有超高硬度，高耐摩擦性能，高耐磨損性能和高自潤滑性能；本發(fā)明涂層工藝簡單，復(fù)合涂層條件精確可控，成膜質(zhì)量高，性能穩(wěn)定，廣品成品率局，成本低廉；具有超局硬度和優(yōu)異的自潤滑抗摩擦磨損性能；本發(fā)明涂層設(shè)備設(shè)置有四套規(guī)?；?..
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