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技術(shù)編號：3308520

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本發(fā)明涉及源容器及氣相沉積反應(yīng)爐。根據(jù)本發(fā)明的實施例的源容器包括容器，其包括內(nèi)壁，所述內(nèi)壁用于限定第一空間和第二空間，第一空間用于收容源材料，第二空間則與第一空間相鄰，在第二空間混合有向內(nèi)部引入的運載氣體以及由源材料生成的蒸汽；運載氣體流入流道，使容器的外部與第二空間相連通，包括露在第二空間內(nèi)的流入端口；混合氣體排出流道，使容器的外部與第二空間相連通，并包括露在第二空間內(nèi)的排出端口；以及限流部件，在第二空間內(nèi)擴(kuò)張，在流入端口與排出端口之間提供第一流動障礙面...
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