技術編號：3305482
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種提高MOCVD外延片均勻性的石墨盤，涉及MOCVD外延片生產設備——石墨盤的結構設計。本實用新型包括大石墨盤和小石墨盤，在大石墨盤上設有通氣小孔和連接栓，在小石墨盤中心的背部設置與連接栓適配的支撐凹槽，所述小石墨盤通過支撐凹槽和連接栓的配合布置在大石墨盤上方；在小石墨盤上設置有中心片槽和邊緣片槽；其特征在于在大石墨盤背面開設圓柱形凹槽，所述凹槽和連接栓布置在同一軸線上。本實用新型補償了連接栓導熱造成的小盤中心局部溫度較高的現象，從而改善小石墨盤的溫度差...
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