技術(shù)編號:3292805
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種臥式多弧鍍膜室,具有鍍膜室罐體,鍍膜室罐體具有外壁、中間冷卻套層和內(nèi)壁,鍍膜室罐體的上、下部壁上均布裝有弧源安裝孔,鍍膜室罐體底部具有安裝支架,弧源安裝孔包括與所述鍍膜室罐體外壁相連的安裝外壁、與所述鍍膜室罐體內(nèi)壁相連的安裝內(nèi)壁及與所述鍍膜室罐體中間冷卻套層相連通的安裝套層,所述安裝內(nèi)壁伸出所述鍍膜室罐體內(nèi)壁且伸入到鍍膜室罐體內(nèi)。上述結(jié)構(gòu)的臥式多弧鍍膜室,由于弧源安裝孔的安裝內(nèi)壁伸出所述鍍膜室罐體內(nèi)壁且伸入到鍍膜室罐體內(nèi),因此在鍍膜過程中鍍...
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