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技術(shù)編號(hào)：3292730

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本發(fā)明公開了一種，所述多層結(jié)構(gòu)涂層是通過磁控濺射在_基底上交替沉積Mo-Al-Si-N和Mo-Ag-N涂層來制備多層的Mo-Al-Si-N/Mo-Ag-N涂層。本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)涂層具有較高的硬度和抗氧化性溫度以及低的摩擦系數(shù)和磨損率，特別適用高速干式切削工具(銑刀、鉆頭)和其他耐磨工件上鍍制的優(yōu)質(zhì)超硬薄膜。本發(fā)明的制備方法沉積速度快，效率高，生產(chǎn)成本低。專利說明 [0001] 本發(fā)明屬于薄膜材料和表面科學(xué)，具體涉及一種多層Mo-Al-Si-N/ Mo...
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