技術(shù)編號(hào)：3290068
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種能夠高精密且高效率地進(jìn)行平坦加工的研磨墊成型模具的制造方法、研磨墊成型模具及研磨墊。形成有排列了細(xì)微凸部（12）微型圖案α的研磨墊（13）的研磨墊成型模具（10）的制造方法，具有制作在基板（21）的一方側(cè)形成有相對(duì)于微型圖案α凹凸關(guān)系被翻轉(zhuǎn)了的微型圖案β的母模（26）的母模制作工序；用母模（26）制作在表層形成有微型圖案γ的正片子模（27）的正片子模制作工序；用正片子模（27）制作在表層形成有微型圖案δ的底片子模（18）的底片子模制作工序，和...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。