技術(shù)編號：3289339
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種分區(qū)域加熱方法、裝置和半導體設(shè)備，涉及半導體制造，在高效率加熱的前提下減小了加熱升溫過程中各區(qū)域之間的溫差，從而縮短了加熱時間。該分區(qū)域加熱方法，包括對設(shè)定為不同目標溫度的多個區(qū)域進行加熱；每隔預設(shè)時間分別采集每個區(qū)域的當前溫度；對溫度高于最低溫度的區(qū)域進行加熱功率限制，其中，溫度越高的區(qū)域加熱功率限制的比例越大。該分區(qū)域加熱裝置，包括多個加熱器，用于對設(shè)定為不同目標溫度的多個區(qū)域進行加熱；分別設(shè)置于每個所述區(qū)域的多個溫度傳感器，用于每隔預...
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