技術(shù)編號:3288656
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種設(shè)置在旋轉(zhuǎn)體(14)的頂棚部(14U)上的自轉(zhuǎn)軸構(gòu)件(46),該自轉(zhuǎn)軸構(gòu)件(46)將處理目標(biāo)(W)懸吊并支撐在處理室(R1)中。旋轉(zhuǎn)體(14)通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)(60)繞處理裝置的豎向方向的軸線周向公轉(zhuǎn),并能夠在投射區(qū)域(40B)中自轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)體(14)通過使用旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)(60)在投射區(qū)域(40B)中作為處理目標(biāo)(W)的公轉(zhuǎn)停止位置的三個位置處一次停止。處理室(R1)具有沿旋轉(zhuǎn)體(14)的周向方向的三室并列結(jié)構(gòu)。當(dāng)旋轉(zhuǎn)體(14)在投射執(zhí)行...
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