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技術(shù)編號：3286724

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本發(fā)明公開了一種。采用射頻磁控濺射物理氣相沉積技術(shù)制備的薄膜，在高真空環(huán)境下具有超潤滑性能的硅、鋁共摻雜的含氫非晶碳薄膜，該種薄膜具有納米網(wǎng)絡(luò)狀及類富勒烯復(fù)合的納米結(jié)構(gòu)，具有極為優(yōu)異的彈性恢復(fù)性能。此外，即使薄膜的納米硬度較低，屬于軟質(zhì)薄膜，在真空環(huán)境下表現(xiàn)出了優(yōu)異的摩擦磨損性能，最低摩擦系數(shù)達到0.001，磨損率低至10-19m3/N·m數(shù)量級。該種薄膜均勻致密，與金屬基材料結(jié)合牢固，作為固體潤滑及密封材料，在真空環(huán)境中的各種機械運動部件方面具有良好的應(yīng)...
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