技術編號：3284833
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了一種基片上料機械手，包括支架；手臂，所述手臂可上下旋轉地連接在所述支架上；基片吸附件，所述基片吸附件設在所述手臂的一端上用于吸附基片；和旋轉檢測裝置，所述旋轉檢測裝置用于檢測所述手臂的旋轉運動。根據本發(fā)明實施例的基片上料機械手，通過將手臂可旋轉地連接在支架上，使得當基片上料機械手運動受制時可實現與上料臺的互鎖設計，及時避免了手臂或基片吸附件的損壞，降低了維修和替換成本，并且不耽誤工作進程，提高了工作效率。本發(fā)明還公開了一種基片上料系統和具有其的...
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