技術(shù)編號(hào)：3281769
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及制造光學(xué)元件的技術(shù)，更具體地說涉及在具有表面不平結(jié)構(gòu)的光學(xué)元件上沉積薄膜的技術(shù)。背景技術(shù) 微米級(jí)加工已經(jīng)能夠開發(fā)在各種光電子應(yīng)用中使用的微光學(xué)元件。微光學(xué)元件(MOE)提供了使用低成本復(fù)制技術(shù)可以大量制造的小型重量輕的光學(xué)組件。在微型化的趨勢(shì)下，這些特征是高度吸引人的。MOEs可以是折射型的，例如微透鏡和微透鏡陣列，并且根據(jù)幾何光學(xué)彎曲或聚焦光線。MOEs可以是衍射型的，例如相位片、衍射光柵、衍射透鏡等等，并且根據(jù)傅立葉光學(xué)改變光線。MOEs還可...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。