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技術(shù)編號：3259218

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本發(fā)明涉及用于基底表面處理的納米復(fù)合涂層，具體地說是ー種用于基底表面處理的納米復(fù)合涂層及其制備方法和裝置。背景技術(shù)用于基底表面處理的納米多層涂層是指由特征維度尺寸為納米數(shù)量級(I IOOnm)的組元鑲嵌于不同的基底上所形成的多層涂層材料，使得位錯難以在納米晶內(nèi)部形成，即使形成也難以運動，有時也把不同組元構(gòu)成的多層膜如超晶格也稱為納米多層涂層。 在眾多應(yīng)用于表面強化的Ti系納米涂層材料中，TiN是出現(xiàn)最早，也是被最早應(yīng)用的ー種納米涂層材料，然而后來出現(xiàn)TiA...
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