技術(shù)編號：3256172
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于運行真空涂層設(shè)備、尤其是用于制造薄層太陽能電池的方法，其中在使用清潔氣體的情況下設(shè)有涂層腔室清潔步驟。背景技術(shù)真空涂層設(shè)備的一個重要的應(yīng)用領(lǐng)域是最近基于硅制造薄層太陽能電池。通常對此使用PECVD方法。薄層太陽能電池由p摻雜的和n摻雜的以及具有變化數(shù)量的本征層構(gòu)成。薄層太陽能電池、所謂的串聯(lián)電池的已知的類型的兩種典型的層狀結(jié)構(gòu)在附圖IA和IB中示出。根據(jù)圖1A，具有透明傳導(dǎo)的前接觸層9的玻璃10用作基質(zhì)。在其之上太陽能電池 由非結(jié)晶的硅沉...
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