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技術(shù)編號：3255315

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本發(fā)明涉及一種光學(xué)元件的檢測，尤其是涉及一種大口徑平面光學(xué)元件拋光盤表面平整性在線檢測系統(tǒng)。背景技術(shù)超精密表面在各工業(yè)領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用，目前主要集中在兩個方面一是以強(qiáng)激光、短波光學(xué)等為代表的工程光學(xué)領(lǐng)域，如激光聚變系統(tǒng)、紫外光學(xué)系統(tǒng)、X射線光學(xué)系統(tǒng)、X射線激光系統(tǒng)、高溫等離子體診斷等光學(xué)領(lǐng)域。在這類系統(tǒng)中，為了減小散射損失， 提高抗破壞閾值所用的光學(xué)組件都應(yīng)精密和光滑。二是以磁記錄頭、大規(guī)模集成電路基片等器件為主的電子工業(yè)領(lǐng)域。現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展對...
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