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干法涂覆裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3254693

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本發(fā)明涉及一種干法涂覆裝置,用于通過沉積將涂覆材料(S卩,金屬蒸氣)涂覆在襯底(例如,鋼帶)上,更具體地,涉及如下一種干法涂覆裝置,在該干法涂覆裝置中,作為加熱源的電磁線圈被布置在一個氣氛(atmosphere )中,從而消除了由于現(xiàn)有的電磁線圈被布置在真空中而導(dǎo)致形成電弧的可能性,且省去了相關(guān)部件,從而提高了操作穩(wěn)定性,可以實現(xiàn)一種簡化的結(jié)構(gòu)且增大金屬蒸氣生成能力以實現(xiàn)高速涂覆,進而提高了生產(chǎn)率并且降低了功率消耗。背景技術(shù)涂覆材料(例如,金屬蒸氣)可通過...
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