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蒸鍍方法、蒸鍍裝置和有機el顯示裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:3254572

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本發(fā)明涉及用于在基板上形成規(guī)定圖案的覆膜的蒸鍍方法和蒸鍍裝置。另外,本發(fā)明涉及具備通過蒸鍍形成的發(fā)光層的有機EL(Electro Luminescence電致發(fā)光)顯示裝置。背景技術近年來,在各種各樣的商品和領域中使用平板顯示器,要求平板顯示器的進一步大型化、高畫質化和低耗電化。在那樣的狀況下,具備利用有機材料的電場發(fā)光(Electro Luminescence)的有機EL元件的有機EL顯示裝置,作為全固體型、且在低電壓可驅動、高速響應性、自發(fā)光性等方面優(yōu)...
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