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技術(shù)編號(hào)：3254543

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領(lǐng)域本發(fā)明的實(shí)施例大體涉及利用熱絲化學(xué)氣相沉積(HWCVD)工藝在襯底上沉積材料的方法，且更具體地說(shuō)，本發(fā)明的實(shí)施例涉及增強(qiáng)這類(lèi)工藝中所用的燈絲壽命的方法。背景在HWCVD工藝中，一或多種前驅(qū)物氣體將于處理腔室內(nèi)鄰近襯底處經(jīng)高溫?zé)岱纸?，以在襯底上沉積預(yù)定材料。一或多個(gè)金屬絲或燈絲促進(jìn)處理腔室內(nèi)的熱分解反應(yīng)，金屬絲或燈絲支撐在處理腔室中，以例如通過(guò)使電流通過(guò)燈絲而加熱所述處理腔室達(dá)預(yù)定溫度。使用不同的燈絲材料會(huì)影響沉積膜的質(zhì)量。例如，相較于使用鎢燈絲，HWC...
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