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濺射靶制造方法及濺射靶的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3254172

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本發(fā)明涉及一種用于形成IGZO膜的濺射靶制造方法及濺射靶。背景技術(shù)近幾年,隨著照片和視頻的高畫質(zhì)化,向光記錄介質(zhì)等記錄時(shí)的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)增加,要求記錄介質(zhì)的高容量化,作為高記錄容量的光記錄介質(zhì)已經(jīng)銷售有通過(guò)雙層記錄方式具有50GB容量的Blu-ray Disc (注冊(cè)商標(biāo))。對(duì)于該Blu-ray Disc (注冊(cè)商標(biāo)),期望今后也進(jìn)一步高容量化,正在積極展開對(duì)基于記錄層多層化的高容量化的研究。作為構(gòu)成Blu-ray Disc (注冊(cè)商標(biāo))的介電保護(hù)膜用材料,需要...
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