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用于制造多晶硅的等離子體沉積裝置和方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3249540

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本發(fā)明涉及用于制造多晶硅的裝置和方法。 問題由于油價持續(xù)攀升且其它能源仍然有限,由化石燃料燃燒排放物 引起的全球變暖被施加了越來越大的壓力。需要找出并使用替代能 源,如太陽能,因為其免費并且不產(chǎn)生二氧化碳氣體。為此,許多國 家正增加它們在安全可靠的長期能源,特別是"綠色"或"清潔"能源方 面的投資。但是,盡管太陽能電池,也稱作光生伏打電池或模件已發(fā) 展多年,但由于制造這些電池或模件的成本仍然高以致其難以與化石 燃料產(chǎn)生的能量竟爭,其具有非常有限的用途。目前...
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