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技術(shù)編號(hào)：3027504

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本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體晶片等被加工物上形成激光加工孔的激光加工 裝置。背景技術(shù)在半導(dǎo)體器件制造工序中，在大致圓板形狀的半導(dǎo)體晶片的表面上， 使用呈格子狀排列的被稱(chēng)為間隔道的分割預(yù)定線來(lái)劃分出多個(gè)區(qū)域，并在該劃分出的區(qū)域中形成IC (集成電路)、LSI (大規(guī)模集成電路)等器 件。然后，通過(guò)沿著間隔道將半導(dǎo)體晶片切斷來(lái)分割形成有器件的區(qū)域， 從而制造出各個(gè)半導(dǎo)體芯片。為了實(shí)現(xiàn)裝置的小型化和高性能化，而實(shí)際應(yīng)用了將多個(gè)器件層疊、 并連接在所層疊的器件上設(shè)置的焊盤(pán)的...
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