技術(shù)編號：3008283
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及使測試頭相對于一根或多根軸保持平衡的方法和設(shè)備。并且，本發(fā)明還提供了相對于一根或多根軸為測試頭提供運動的柔順范圍(compliant range of motion)的方法和設(shè)備。背景技術(shù) 在集成電路、芯片、和晶片的測試中，習(xí)慣的做法是使用包括測試頭和處理待測項目的儀器的系統(tǒng)。處理儀器可以是封裝的器件處理器、晶片檢測器、或其它設(shè)備。為了簡便起見，我們將稱這樣的儀器為“器件處理器”或簡稱為“處理器”。測試頭與處理器“對接”。然后，可以在測試頭和集成...
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