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用于離子源的發(fā)射器及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2966350

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本發(fā)明涉及用于離子源的發(fā)射器,并且更具體地,涉及用于液態(tài)金屬合金離子源(LMAIS)的發(fā)射器。本發(fā)明還涉及制造這種發(fā)射器的方法。背景技術(shù) 聚焦離子束(FIB)技術(shù)是半導(dǎo)體工業(yè)的一種重要工具。聚焦離子束被用于失效分析、透射電子顯微鏡樣品制備、以及電路和掩模修改。FIB微米和納米制造可用于降低傳統(tǒng)制造技術(shù)中所需的復(fù)雜性,特別是光刻、腐蝕和注入,傳統(tǒng)的制造技術(shù)對(duì)同一襯底上制造的不同部件必須符合各種要求。FIB技術(shù)的成功是由于液態(tài)金屬離子源(LMIS)的發(fā)明。在L...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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