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場致發(fā)射型電子源的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2965024

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本發(fā)明涉及利用半導(dǎo)體材料借助電場發(fā)射無需加熱而發(fā)射電子束的場致發(fā)射型電子源及其制造方法,具體涉及可應(yīng)用于平面型光源、平面顯示器件、固體真空器件等的場致發(fā)射型電子源及其制造方法。已往,作為場致發(fā)射型電子源有如美國專利No.3665241等中所揭示的所謂斯平特(spindle)型電極的構(gòu)造。該斯平特電極具有配置有多個微小三角錐狀發(fā)射尖端(tip)的基板;具有讓發(fā)射尖端前端部露出的發(fā)射孔并相對發(fā)射尖端呈絕緣配置的柵極。該電極在真空中將發(fā)射尖端相對于柵極作為負極,...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。

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