技術(shù)編號(hào)：2936113
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬薄膜材料制備，具體涉及一種用于薄膜材料合成的直流放電原子束源。背景技術(shù) 自從美國加州大學(xué)E.L.Knuth及其合作者在1969年初用弧熱噴射束源技術(shù)成功產(chǎn)生氦原子束以來，已有幾個(gè)研究小組對(duì)這種能夠產(chǎn)生高密度、低能量、高方向性中性原子束的束源進(jìn)行了研制；其中美國愛荷華大學(xué)的K.R.Way等人用弧熱束源在氬弧中分解氫氣，產(chǎn)生原子態(tài)氫束；美國STEVENS技術(shù)研究所的E.C.Samano等人對(duì)Way等人的弧熱束源進(jìn)行了改進(jìn)在用純氫氣產(chǎn)生氫原子束；只有美國...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。