技術(shù)編號(hào)：2934552
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種白熾燈及光照射式加熱處理裝置，特別是涉及用 于對(duì)被處理體進(jìn)行加熱處理的白熾燈及具有該白熾燈的光照射式加熱 處理裝置。背景技術(shù)當(dāng)前，在進(jìn)行半導(dǎo)體制造工序中的例如成膜、氧化、氮化、膜穩(wěn) 定化、硅化物化、結(jié)晶化、注入離子活性化等各種處理時(shí)，利用來自 光源的光照射的加熱處理，特別是例如使半導(dǎo)體晶片等被處理體的溫度快速上升或下降的快速熱處理(以下稱為"RTP (Rapid Thermal Processing)")能夠提高成品率及品質(zhì)，因此優(yōu)選利用該方...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。