技術(shù)編號：2927710
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及射頻傳輸，尤其涉及一種快速RF自動阻抗匹配的方法。 背景技術(shù) 在典型的RF等離子體發(fā)生裝置中，恒定輸出阻抗(通常為50Ω)的RF發(fā)生器產(chǎn)生固定頻率(通常為13.56MHz)的RF波，向等離子體腔室提供RF功率，以激發(fā)用于刻蝕或其他工藝的等離子體。一般來講，等離子體腔室的非線性負(fù)載的阻抗與RF發(fā)生器的恒定輸出阻抗并不相等，故在RF發(fā)生器和等離子體腔室之間具有嚴(yán)重的阻抗失配，使得RF傳輸線上存在較大的反射功率，RF發(fā)生器產(chǎn)生的功率無法全部輸送給...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。