技術(shù)編號(hào)：2924277
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種ECR(電子回旋共振)等離子體源，它具有一個(gè)在等離子體室上的直線性等離子體出口，所述等離子體室同時(shí)起著外導(dǎo)體的作用，在該等離子體室中有一個(gè)中心的波分配器，所述波分配器同一個(gè)用于產(chǎn)生高頻的裝置相連，并與一個(gè)處于直線性等離子體出口區(qū)域中的多極磁場裝置相連。作為高頻可以考慮的是所有在技術(shù)上可應(yīng)用的和允許的頻率范圍。在實(shí)際中已證明合適的頻率特別在13.56MHz和2.45GHz之間。背景技術(shù) 根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，已知有各式各樣的等離子體產(chǎn)生裝置。DE 19...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。