技術編號：2923987
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。金屬蒸汽真空弧離子源用壓夾持式陰極結構所屬 本實用新型涉及一種用于金屬蒸汽真空弧離子源的壓夾持式的陰極結構。背景技術由于金屬蒸汽真空弧離子源具有束流強、離子種類多、純度高、電荷態(tài)高、引出電壓高 以及多孔大面積引出的特點，文獻《High-current Metal-ion Source for Ion Implantation》Zhang Huixing et al. Rev Sci Instrum, 1990， 61 (1)將金屬蒸汽真空弧強流金屬離子注...
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