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寬帶離子束分析器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2907564

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本發(fā)明屬于離子質(zhì)量分析,特別涉及一種用于從寬帶離子束中分離出所需的離子的寬帶離子束分析器。背景技術(shù)寬帶離子束分析器是離子注入機(jī)中的核心部件,是在磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用下使離子按質(zhì)荷比分離的部件。現(xiàn)有技術(shù)的寬帶離子束分析器具有上磁極和下磁極,上磁極和下磁極分別連接上勵(lì)磁線圈和下勵(lì)磁線圈,上勵(lì)磁線圈和下勵(lì)磁線圈均與電源連接,通電時(shí)兩個(gè)磁極之間的空間中產(chǎn)生磁場(chǎng),不同質(zhì)荷比的離子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)半徑不同。因此,配合設(shè)于兩個(gè)磁極之間的空間中的分析光欄,能夠使寬帶離子束中所需...
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