技術(shù)編號(hào)：2898643
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及短弧型放電燈，尤其涉及適用于半導(dǎo)體或液晶制造領(lǐng)域等的曝光用光 源或放映機(jī)的背光用光源的短弧型放電燈。背景技術(shù)短弧型放電燈由于在發(fā)光管內(nèi)相對(duì)配置的一對(duì)電極的前端距離較短而接近于點(diǎn) 光源，因此通過(guò)與光學(xué)系統(tǒng)組合來(lái)用作曝光裝置用光源或放映機(jī)的背光用光源。專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了現(xiàn)有技術(shù)的短弧型放電燈。根據(jù)該文獻(xiàn)，已指出由于氙短弧 燈中作為發(fā)光氣體的氙氣、水銀蒸氣短弧燈中作為緩沖氣體的氙氣、氪氣及氬氣所造成的 準(zhǔn)分子發(fā)光會(huì)引起在石英玻璃制的放電容器的內(nèi)表面產(chǎn)生...
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