技術(shù)編號：2896970
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及平板場發(fā)射真空光電子器件領(lǐng)域，具體涉及正柵極結(jié)構(gòu)平板場發(fā)射器 件的絕緣層的制備方法。背景技術(shù)目前在現(xiàn)有的技術(shù)中，制作帶有柵極結(jié)構(gòu)的平面場發(fā)射電真空器件的結(jié)構(gòu)形式有 三種正柵極結(jié)構(gòu)、側(cè)柵極結(jié)構(gòu)和背柵極結(jié)構(gòu)，其中正柵極結(jié)構(gòu)制作出的平面場發(fā)射電真空 器件在使用的過程中效果是最好的。其中包括幾個方面發(fā)射源的發(fā)射性能穩(wěn)定，柵極的受 控性穩(wěn)定，發(fā)射源發(fā)出的電子散射性小，顯示器的發(fā)光點整齊，且該結(jié)構(gòu)的電真空器件使用 壽命長。但是這種正柵極結(jié)構(gòu)的器件在制作的過程...
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