技術編號：2854127
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供一種離子注入方法以及離子注入裝置，其能夠進行有效的離子注入。本發(fā)明的離子注入方法為基于混合式掃描的離子注入方法。該離子注入方法具有預先設定離子注入時離子束的掃描速度以及物體的掃描速度的工序；及根據(jù)所設定的離子束的掃描速度以及物體的掃描速度而注入離子的工序。預先設定工序根據(jù)按照被離子照射的物體的表面形狀而變化的離子束的各掃描振幅來設定多個離子束的掃描速度，以確保離子束的掃描頻率恒定，并且設定與離子束的掃描速度對應的物體的掃描速度，以確保注入到物體表...
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