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磁控管以及應(yīng)用該磁控管的磁控濺射設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2851732

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本發(fā)明提供一種磁控管和磁控濺射設(shè)備,包括極性相反的外磁極和內(nèi)磁極,其中,在垂直于所述磁控管的徑向截面上,所述內(nèi)磁極為由兩段螺旋線首尾串接而形成的不對(duì)稱的閉合環(huán)形,且該螺旋線遵循下述極坐標(biāo)方程r=a×θn+b×(cosθ)m+c×(tanθ)k+d,其中,r和θ為極坐標(biāo),n,m和k分別為θ、cosθ和tanθ的指數(shù),且-2<n<2,-2<m<2,-2<k<2;而且,所述內(nèi)磁極和與之形狀相對(duì)應(yīng)的外磁極相互不接觸地嵌套在一起,以在二者之間形成閉合且不對(duì)稱的通道;...
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