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來(lái)自場(chǎng)發(fā)射源的發(fā)射參數(shù)的確定的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2849062

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本發(fā)明涉及場(chǎng)發(fā)射帶電粒子源,并且特別地涉及用于使用電子束的儀器的電子源。背景技術(shù)在多種多樣的儀器中都使用電子束,所述多種多樣的儀器包括電子顯微鏡、電子束光刻系統(tǒng)、臨界尺寸測(cè)量工具以及各種其他檢查、分析以及處理工具。在大多數(shù)儀器中,通過(guò)觀察電子束與樣本的相互作用的結(jié)果來(lái)獲取關(guān)于樣本的信息。在此類儀器中,由電子源發(fā)射電子并形成為射束,其被電子光學(xué)鏡筒(column)聚焦和指引。電子源通常包括發(fā)射體,從該發(fā)射體發(fā)射電子;引出(extraction)電極,其從發(fā)射...
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