技術(shù)編號(hào):2849062
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及場(chǎng)發(fā)射帶電粒子源,并且特別地涉及用于使用電子束的儀器的電子源。背景技術(shù)在多種多樣的儀器中都使用電子束,所述多種多樣的儀器包括電子顯微鏡、電子束光刻系統(tǒng)、臨界尺寸測(cè)量工具以及各種其他檢查、分析以及處理工具。在大多數(shù)儀器中,通過(guò)觀察電子束與樣本的相互作用的結(jié)果來(lái)獲取關(guān)于樣本的信息。在此類儀器中,由電子源發(fā)射電子并形成為射束,其被電子光學(xué)鏡筒(column)聚焦和指引。電子源通常包括發(fā)射體,從該發(fā)射體發(fā)射電子;引出(extraction)電極,其從發(fā)射...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。