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應(yīng)力自補償波導(dǎo)諧振腔及諧振式集成光學(xué)陀螺的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2818837

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本發(fā)明涉及光學(xué)探測設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種應(yīng)力自補償波導(dǎo)諧振式集成光學(xué)陀螺及其制作方法。背景技術(shù)集成光學(xué)陀螺的基本原理是光學(xué)薩格納克(Sagnac)效應(yīng),當(dāng)外界存在旋轉(zhuǎn)角速度時,會引起諧振腔中順、逆時針方向傳輸?shù)墓獾念l率差,此頻率差與承載諧振腔轉(zhuǎn)動的載體的角速度成正比例關(guān)系,通過頻率差即可以間接測量載體的角速度。集成光學(xué)陀螺與其它類型的陀螺相比相應(yīng)的優(yōu)勢如與光纖陀螺相比,體積小、成本低;與MEMS陀螺相比,抗沖擊能力強、耐震動、環(huán)境不敏感、抗電磁能力強、工作...
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