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靜電驅(qū)動(dòng)的光波導(dǎo)和f-p腔可調(diào)諧光濾波器及制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2818739

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本發(fā)明屬于光電子器件領(lǐng)域,涉及一種基于SOI光波導(dǎo)和F-P腔的靜電梳 狀電極驅(qū)動(dòng)的可調(diào)諧光濾波器及其制備方法。背景技術(shù)可調(diào)諧光濾波器(TOF)是一種波長(zhǎng)選擇器件,它的功能是從許多不同波長(zhǎng)的 輸入光信號(hào)中,根據(jù)需要選擇出某個(gè)特定波長(zhǎng)的光信號(hào)。它可以在密集波分復(fù)用 (DWDM)系統(tǒng)中構(gòu)成各種解復(fù)用器,將復(fù)用在一起的光區(qū)分開(kāi)來(lái)。新一代全光網(wǎng) 絡(luò)的關(guān)鍵器件光上下路器(OADM)也可以由濾波器構(gòu)成??烧{(diào)諧光濾波器應(yīng)該具 有高選擇性、低串?dāng)_、通帶的平坦性、低的插入損耗...
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