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利用光學(xué)顯微鏡的光刻系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2817551

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本發(fā)明涉及一種利用光學(xué)顯微鏡的光刻系統(tǒng),更具體而言,涉 及一種在不以大量生產(chǎn)為目的的、利用單位尺寸硅襯底的小規(guī)模研 究活動(dòng)中,利用了光學(xué)顯微鏡的光刻系統(tǒng),該光學(xué)顯孩t鏡以低廉的 費(fèi)用能夠形成多種選擇性圖案而不使用高價(jià)光掩模。背景技術(shù)在如下一代電子器件的半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)研究中,制作所希望的圖案,為了金屬蒸鍍或者蝕刻過(guò)程必定需要光刻(Photolithography)工程。在此,光刻是在現(xiàn)有的半導(dǎo)體工序所必需的技術(shù)之一,是指在 半導(dǎo)體襯底上薄薄地涂敷其性質(zhì)見(jiàn)特定波長(zhǎng)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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