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光阻汲取噴頭的定位裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2814420

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本實(shí)用新型涉及一種光阻汲取噴頭的定位裝置,尤指一種運(yùn)用于光阻容器中, 并利用可更換式設(shè)計(jì)達(dá)到降低成本的光阻汲取噴頭的定位裝置。背景技術(shù)請參閱圖8所示,習(xí)用光阻汲取噴頭包含有一具有內(nèi)螺紋的定位裝置90、 一汲 取管91、一回流管92及一加壓管93,該定位裝置90是以一體成形手段制程的構(gòu)件, 并藉由該定位^S90內(nèi)所設(shè)置的內(nèi)螺紋以螺合于光阻容器上,該汲取管91、回流 管92及加壓管93皆是設(shè)置于該定位裝置90上并貫穿該定位裝置90。然Jd述中,習(xí)用光阻汲取噴頭...
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