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并行模式變換器和由其構(gòu)成的光分路器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2812766

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本實(shí)用新型涉及一種集成光電子器件,特別是一種模式變換器和由其構(gòu)成的 低損耗光分路器。技術(shù)背景以絕緣襯底上的硅SOI為基片的光波導(dǎo)和平面光集成回路PLC,可以幫助降 低光芯片的成本,并實(shí)現(xiàn)多功能單片集成。但在基于SOI或其他高材料折射率對(duì) 比基片的平面光集成回路中,在分支結(jié)處的散射損耗是構(gòu)造低損耗器件的障礙。 通用的以二氧化硅為基片的光分路器的額外損耗小于0.5dB,而一個(gè)典型的SOI 的光分路器的額外損耗是大于ldB,大的分支結(jié)損耗是高材料折射率對(duì)比的直接...
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