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一種mems掃描探頭的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2801650

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一種MEMS掃描探頭[0001]本實(shí)用新型涉及一種MEMS掃描探頭。背景技術(shù)[0002]微型化、高性能、低成本、大批量是當(dāng)今器件制造的追求目標(biāo)。微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)此時(shí)應(yīng)運(yùn)而生,被廣大設(shè)備制造商廣泛應(yīng)用。使用微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制造的器件主要可分成兩大類,其一就是單純微型化傳統(tǒng)器件,如微型光學(xué)平臺(tái),其優(yōu)點(diǎn)集中體現(xiàn)在可以拓展微型化的系統(tǒng)的使用范圍;其二使用革新原理制造出傳統(tǒng)方法無(wú)法制作的器件,如地磁傳感器。[0003]現(xiàn)有的光學(xué)平臺(tái)在應(yīng)用MEMS技術(shù)方面,如MEMS掃描...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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