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抗蝕劑組合物和半導(dǎo)體器件制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2795128

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本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中在形成抗蝕劑圖形時(shí)減小圖形開(kāi)口尺寸的抗蝕劑組合物以及使用該抗蝕劑組合物制造半導(dǎo)體器件的方法。背景技術(shù)近年來(lái),隨著半導(dǎo)體器件的高度集成化,制造過(guò)程中要求的圖形尺寸也要相當(dāng)?shù)匚⑿突?。在精?xì)圖形或者精細(xì)雜質(zhì)分布的普通制造過(guò)程中,通過(guò)光刻技術(shù)形成抗蝕劑圖形, 并將由此形成的抗蝕劑圖形用作掩模。例如,利用由此形成的抗蝕劑圖形作為掩模通過(guò)蝕刻基板上的各種薄膜來(lái)形成精細(xì)圖形,并利用由此形成的抗蝕劑圖形作為掩模通過(guò)將離子注入基板來(lái)形成精細(xì)雜...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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