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光刻設(shè)備對準(zhǔn)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2790810

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本發(fā)明涉及一種,特別涉及應(yīng)用隊列處理機(jī)制處理對準(zhǔn)信號的。背景技術(shù)專利CN200710045495X、CN2007100454964 和 CN200910200223. I 都公開了結(jié)合多個對準(zhǔn)信號獲得對準(zhǔn)位置的方法。工程實(shí)際中,為了提高對準(zhǔn)效率,在同步談判機(jī)制下,采用過渡軌跡平滑、高速無縫地銜接各個子光柵的掃描過程,以減少對準(zhǔn)用時,如附圖I中掃描子光柵MGlx、MG2x沿01、02、03、04的掃描軌跡,以及附圖2中掃描子光柵MGlx、MGly沿01、02...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。

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