技術(shù)編號：2790493
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工(包括PCB、FPD、LED、光掩模版等使用半導(dǎo)體加工工藝的加 工領(lǐng)域)所應(yīng)用的光刻，具體涉及一種高速數(shù)字掃描直寫光刻裝置。背景技術(shù)光刻技術(shù)是當(dāng)前半導(dǎo)體主流平面加工工藝技術(shù)中的一環(huán)，其用于在基片(也可稱 為基底)表面上形成特定結(jié)構(gòu)的特征圖形?；砂ㄓ糜谥圃彀雽?dǎo)體器件、多種集成電 路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、印刷電路板(PCB)、發(fā)光二極管(LED)、生物芯片、微電子 機械系統(tǒng)(MEMS)、光電子線路芯片或光掩膜版等基片。本領(lǐng)域...
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