技術(shù)編號：2789567
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及使用了 MEMS (Micro Electro Mechanical System，微電子機械系統(tǒng)) 技術(shù)的光偏轉(zhuǎn)器及制造方法。背景技術(shù)近年來，使用了 MEMS技術(shù)的微驅(qū)動器的開發(fā)正積極地開展。例如，具有被一對彈 性支承部(扭桿)可扭轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動地支承的鏡的光偏轉(zhuǎn)器作為利用簡便的構(gòu)成就可以形成圖像 顯示裝置的設備正在被開發(fā)。伴隨著近來的鏡面積的增大，鏡的慣性矩日益增大，存在由此導致的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩上 升的問題。在專利文獻1中，公開了在鏡的背面設有減輕重量部的...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。