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波長板及使用其的光學裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:2785553

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本發(fā)明涉及波長板及使用其的光學裝置,特別涉及具有線狀格子溝槽圖案的波長板及使用其的光學裝置。背景技術 以往,已知具有線狀格溝槽圖案的波長板。作為構成上述現(xiàn)有的波長板的線狀格子溝槽圖案的制造方法,已知利用光刻技術及蝕刻技術的方法。這些方法公開于D.Hambach G.Schneider和E.M.Gullikson“OPTICSLETTERS”Vol.26 No.15 2001.8.1 pp.1200~1202中。圖93是表示現(xiàn)有的具有線狀格子溝槽圖案的波長板...
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