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一種自控液晶光閥組光刻快門機(jī)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2784516

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本實用新型屬于光學(xué)精密刻劃中涉及的一種自控液晶光閥組光刻快門機(jī)構(gòu)。技術(shù)背景碼盤是光電角位移精密測量儀器和光柵計量測試設(shè)備的核心元件,碼盤上的條紋圖案,是通過光學(xué)精密刻劃的方式實現(xiàn)的,光刻的質(zhì)量往往取決于曝光快門的結(jié)構(gòu)形式。國內(nèi)外光刻快門的結(jié)構(gòu)形式很多,國外的快門結(jié)構(gòu)都很復(fù)雜。與本實用新型最為接近的已有技術(shù),是中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所研制的“編碼穿孔帶式光刻快門”,如圖1所示包括燈盒1、滾輪2、導(dǎo)片輪3、編碼穿孔帶4、卷片輪5、曝光鏡頭6、卷片...
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